منظف ​​متكامل لتفصل الويفر

تم تصميم منظف متكامل لتفتيت الرقاقة ، والفصل والإدخال (وحدة الغيور ، والقسمة والتنظيف) خصيصًا للتنظيف التلقائي ، وإزالة الجسيمات الكبيرة ، والتراجع ، والتقطيع ، والإدراج ، والتنظيف الكيميائي لرقصات أشباه الموصلات. هذا الجهاز مناسب للرقائق 8 بوصات ويتميز بعملية مؤتمتة بالكامل بما في ذلك التغذية ، وغسل الرش ، والتنظيف بالموجات فوق الصوتية ، والتدفئة ، و Degumming ، وإزالة الألواح ، والتقطيع التلقائي ، وإدخال الكاسيت ، وغسل الكاوية الكيميائية.

يتم فصل الرققات المكدسة واحدة تلو الأخرى باستخدام آلية كوب الشفط. يتم تحديد الرقائق التالفة والإبلاغ عنها بواسطة نظام CCD قبل إطعامه في كاسيت رقاقة 8 بوصة. يتم إدخال الكاسيت الكامل تلقائيًا ، ويتم معالجة نقل/تفريغ الكاسيت من قسم Degumming بواسطة مناور تلقائي. يقوم المعالج بترتيب الكاسيت الكامل ويرسلها إلى محطة تغذية آلة التنظيف اللاحقة. ثم يقوم مناور آلة التنظيف بنقل الكاسيت من خلال خزانين للتنظيف الكيميائي ، واثنين من الدبابات الشطف ، وعملية تجفيف الهواء الساخن قبل الترتيب النهائي والإخراج. تم تصميم النظام بأكمله كقناة عملية مستمرة ، وتتطلب من المشغل فقط تحميل قطع العمل والأشرطة.

تم تجهيز المنظف المدمج بثلاثة ماسحات ضوئية باركود لتتبع أرقام عملية التتبع ومعرفات الكاسيت في مواضع التحميل والتنظيف والتفريغ. تعمل إدارة إنتاج الرقاقة بناءً على هذه الرموز. يتضمن الشاشة التي تعمل باللمس بطاقة ذاكرة مثبتة أمامية- لسهولة استرجاع البيانات ، ويمكن الوصول إلى البيانات المسجلة مباشرة بواسطة الكمبيوتر المضيف. طبعات حرارية في عملية تحميل الكاسيت تطبع علامات ترتيب العمل.

يتم استيراد المكونات الكهربائية الرئيسية من Omron و Mitsubishi و Festo و SMC و Keyence ، وضمان أداء موثوق به ، وحياة الخدمة الطويلة ، والتشغيل المستقر.

مصممة لسكويت الويفر ، والقسمة ، والتنظيف.

متوافق مع نوعين من قطع العمل: صغار السبل والتقطيع (قطع الأسلاك الماسية أو قطع الملاط).

• سعة:360 قطعة/ساعة.

الوسم : منظف ​​متكامل لتصحيح الويفر الذي ينفصل عن إدراج الصين ، منظف متكامل للرقص على تفكيك الشركات المصنعة لإدراجها