يتكون مجفف Wafer Megasonic Two - بالفرشاة والتنظيف - (Cleaner Cleaner مع تنظيف الفرشاة megasonic - التجفيف) من مجموعة {}-. وحدة تنقية FFU ، نظام التحكم الكهربائي ، نظام الأنابيب ، ونظام الهوائية.
معلمات المنتج
1. تدفق الإنتاج:
تحميل → الموقع → الدوران ، الفرشاة ، التنظيف ، اثنين - رش السوائل (جانب SI) → قلب 180 درجة → الدوران ، الفرش
2. مواد الجيور:
إطار معدني
PP الأبيض
3. نقل:
يتم نقل الرقاقات بيد روبوتية نظيفة.
ميزات المنتج والتطبيقات
يزيل الجزيئات المتبقية من كلا سطح الويفر:
a. Particle size 0.3~0.5 µm: removal rate >90 ٪ أو<200 particles;
b. Particle size 0.5~1 µm: removal rate >95 ٪ أو<10 particles.
ملاحظة: آلة التفتيش متوافقة مع Candela أو Sica.
تفاصيل المنتج
قدرة غرفة الغسيل:
1 رقاقة
وقت دفعة الإنتاج النموذجي:
تقريب . 144 ثانية/قطعة (وقت الفرشاة قابل للتعديل)
الأحجام القياسية:
6 بوصات (φ150mm) و 8 بوصات (φ200mm)
الأحجام القياسية غير-:
φ150 ~ 153mm و φ200 ~ 203mm
سيناريوهات التطبيق
◇ في أكتوبر 2023 ، تم تكليف منظف SIC مع تفريش Megasonic - وبدأ تشغيله كوحدة تجريبية في موقع العميل لـ Wuxi HY Solar.
الوسم : منظف كذا مع تفريش Megasonic Spin - التجفيف ، منظف SIC الصين مع تدور الفرشاة megasonic -
