Wafer اثنين - single single - تنظيف تنظيف وتنظيف جانبي- (منظف siC مع اثنين - Single - جهاز تفريغ المحطة ، وحدة تنقية FFU ، نظام التحكم الكهربائي ، نظام الأنابيب ، ونظام الهوائية.
معلمات المنتج
1. تدفق الإنتاج:
تحميل → الموقع → الدوران ، الفرشاة ، التنظيف ، اثنين - رش السوائل → الدوران ، تدور - التجفيف → إلغاء تحميل
2. مواد الجيور:
إطار معدني
PP الأبيض
3. نقل:
يتم نقل الرقاقات بيد روبوتية نظيفة.
ميزات المنتج والتطبيقات
يزيل الجزيئات المتبقية من سطح الرقاقة.
تفاصيل المنتج
قدرة غرفة الغسيل:
1 رقاقة
وقت دفعة الإنتاج النموذجي:
تقريب . 144 ثانية/قطعة (وقت الفرشاة قابل للتعديل)
الأحجام القياسية:
6 بوصات (φ150mm) و 8 بوصات (φ200mm)
الأحجام القياسية غير-:
φ150 ~ 153mm و φ200 ~ 203mm
سيناريوهات التطبيق
◇ في أكتوبر 2023 ، فإن منظف SIC مع اثنين - تدور فرشين السوائل - تجفيف R & D تم تشغيله.
الوسم : منظف SIC مع اثنين من تدورات تنظيف السوائل - التجفيف ، منظف الصين مع اثنين من المصنعين للفرش
